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薄膜熱物性測試儀行業(yè)標準
HCX09A薄膜熱物性測試儀
該儀器用于測試薄膜材料熱物性參數(shù)。薄膜物理指出當物體很薄時，同樣材料薄膜狀態(tài)的物性與容積狀態(tài)的物性不一定相同，因此對薄膜物性的測量必須在薄膜狀態(tài)下進行。根據(jù)物體表面溫度按余弦（或正弦）規(guī)律變化時的瞬態(tài)實驗?zāi)Ｐ?。采用溫度波法來測試薄膜材料的熱物性參數(shù)，由于薄膜是有限厚的一維模型。在這一狀態(tài)下，當溫度振蕩頻率達到一定值后，利用樣品上、下表面溫度的相位差計算導(dǎo)溫系數(shù)或?qū)嵯禂?shù)。儀器專用于研究薄膜材料熱物性特性。
主要技術(shù)參數(shù)：
1．導(dǎo)熱系數(shù)范圍：0.05～20w/m·k
2．儀器實現(xiàn)數(shù)字化測溫，精度優(yōu)于0.2級。
3．測量結(jié)果，準確度 ±3%
4．計量加熱功率可調(diào)節(jié)±1%。
5. 試樣尺寸要求：圓片(方片)直徑（邊長）不大于50mm
6.使用溫度為：常溫。
7.配有完整的測試系統(tǒng)及軟件平臺。
8.操作采用全自動熱分析測試軟件，快速準確對樣品進行試驗過程參數(shù)分析和報 告輸出。
